微型气相色谱柱芯片研究进展

基于高分子聚合物的柔性传感器研究进展

石墨烯/Fe_3O_4/壳聚糖修饰电极对镉离子的检测研究

小幅值气动摩擦力测量与干扰补偿研究

抑制交叉轴干扰的纳米光栅加速度计

环形氮化铝压电MEMS谐振器的支撑结构设计研究

纤毛—硅柱结构MEMS二维矢量水听器设计与制备方法

跨层叉指换能器对复合膜SAW器件影响的研究

基于细芯光纤与双球结构的温度湿度传感器

基于纺织品的柔性NH_3气体传感器研究

3D电极的介电泳力与惯性力的粒子连续分选仿真

天线波瓣宽度对巷道中电磁波传播特性的影响

基于AlN的压电MEMS超声换能器阵列

D-S证据下的高铁信号系统异构数据融合

MEMS器件用Cavity-SOI制备中的晶圆键合工艺研究