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传感器与微系统 (1982-2021)

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－ 2021年05期－

Te半导体纳米材料气体传感器研究进展

杨永超;刘玺;刘继江;刘志远;刘洋;

In_(0.3)Ga_(0.7)As多层耦合表面量子点气敏特性分析

刘增光;杨莹丽;王国东;王俊君;杨林林;璩光明;

硅微谐振式加速度计温漂补偿研究

张含;丁徐锴;李宏生;

Ⅰ号液在MEMS晶圆级封装中的应用研究

李胜利;黄立;马占锋;高健飞;王春水;

新型角度检测装置及其检测方法研究

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