全金属密封超高真空闸阀-真空1980年02期-手机知网

全金属密封超高真空闸阀

国强

前言随着加速器等科学技术的发展,对清洁超高真空系统提出了新的要求,全金属密封闸阀已被重视和较多应用。这种阀门与弹性体(橡胶)密封的阀门相比,大大降低了有机物的污染,具有通导大,压强增长率低,有利于获得更高的真空度,还具有耐高温和抗高能粒子辐射效应等优点。本文浅述?

领　域:

无机化工；

关键词:

金属密封；密封力；密封面宽度；