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无线电电子学
有电子束聚焦作用的场发射阵列
讨论了对发射电子束具有聚焦作用的场发射阵列 ,并制作了样管。为了抑制发射电子束的发散 ,采用电子束聚焦的方法。文中给出了三种结构的聚焦方案 ,开发的透明电阻层Ni SiO2 保证了聚焦孔的刻蚀精度
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真空科学与技术
2000年05期
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