手机知网 App
24小时专家级知识服务
打 开
无线电电子学
ITO薄膜电极激光损伤形貌的多重分形研究
液晶光学器件中液晶分子的转动由施加在ITO薄膜电极间的电场来控制,ITO晶体结构中空穴和自由电子与强激光的相互作用,使ITO薄膜电极成为液晶光学器件结构中激光损伤的薄弱环节。为探索ITO薄膜电极的激光损伤机制,使用原子力显微镜(AFM)对厚度约为10nm的ITO薄膜的表面形貌进行了测量。采用多重分形理论,定量分析了薄膜表面粗糙度及微孔洞分布情况,对薄膜在脉冲宽度为10ns,能量分别为50mJ、100mJ、200mJ激光辐照下所获得薄膜的表面粗糙度分布情况进行比较分析,结果显示,随着激光功率的增加,多重分形谱的谱宽△α呈增大趋势,且△f为负值,表明ITO薄膜表面粗糙度增大并形成微孔洞缺陷。
0 63
手机阅读本文
下载APP 手机查看本文
应用激光
2010年02期

搜 索