高功率紫外激光切割铜薄膜的实验研究-应用激光2005年05期-手机知网

高功率紫外激光切割铜薄膜的实验研究

通过改变气氛条件及加工工艺参数,研究高功率紫外激光切割铜薄膜的切割性能及影响因素,并且利用正交实验设计的方法,确定了影响切缝宽度和切割质量的主次因素。在实验的基础上,成功的利用高功率三倍频紫外激光制作出高质量的铜质薄膜器件。

机　构:

领　域:

无线电电子学；

关键词:

紫外激光；微加工；掩膜；激光切割；

格　式:

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