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微加工准分子激光光束质量评价体系探讨
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李呈德
陈涛
万盈
对在准分子激光微加工配套系统研制开发及微结构加工工艺研究的实际工作中碰到的准分子激光光束质量指标进行了详细分析 ,采用一整套光束诊断技术对 Lambda Physik LPX 30 5i F型激光器进行测试评价
机 构:
北京工业大学激光工程研究院!北京100022,北京工业大学激光工程研究院!北京100022,北京工业大学激光工程研究院!北京100022,北京工业大学激光工程研究院!北京100022;
领 域:
无线电电子学
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关键词:
微加工
；
准分子激光
；
光束质量
；
格 式:
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应用激光
2001年03期
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