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无线电电子学
准分子激光微加工用Schwarzchild物镜设计
设计了一种用于248nmKrF准分子激光投影刻蚀加工的反射式物镜。它不仅因无色差具有与可见光同轴观察对准的特性,还满足了激光微加工对物镜大倍率大工作距离的要求。
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应用激光
2001年01期

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