超光滑基片表面均方根粗糙度的测量-应用激光1999年06期-手机知网

超光滑基片表面均方根粗糙度的测量

探讨根据测量的总积分散射定标得到表面均方根粗糙度的问题。利用基片的表面模型和积分球本身的结构特征，对测量的表面有效均方根粗糙度进行修正，得到的表面均方根粗糙度与进口表面测量仪测量得的值相差为０．１ｎｍ左右。

机　构:

领　域:

物理学；金属学及金属工艺；无线电电子学；

关键词:

积分散射仪；积分球；表面粗糙度；