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物理学
超光滑基片表面均方根粗糙度的测量
探讨根据测量的总积分散射定标得到表面均方根粗糙度的问题。利用基片的表面模型和积分球本身的结构特征,对测量的表面有效均方根粗糙度进行修正,得到的表面均方根粗糙度与进口表面测量仪测量得的值相差为0.1nm 左右。
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应用激光
1999年06期

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