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物理学
YAG调Q激光陶瓷基板划片机
分析了YAG调Q激光陶瓷基板划片的机理.提出了较完善的整机总体设计方案,解决了百瓦级YAG激光的声光调Q、工件走位高定位精度高重复精度与高速进给等关键技术,整机达到了预定指标和实用效果。
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应用激光
1998年06期

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