YAG调Q激光陶瓷基板划片机-应用激光1998年06期-手机知网

YAG调Q激光陶瓷基板划片机

分析了YAG调Q激光陶瓷基板划片的机理.提出了较完善的整机总体设计方案，解决了百瓦级YAG激光的声光调Q、工件走位高定位精度高重复精度与高速进给等关键技术，整机达到了预定指标和实用效果。

机　构:

领　域:

物理学；无线电电子学；

关键词:

陶瓷基板；激光划片；声光调Q；