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物理学
XeCl准分子激光精细刻蚀金刚石和玻璃的实验研究
研究了XeCl激光精细刻蚀玻璃、金刚石等材料的能流阈值和单脉冲能流密度、激光脉冲重复频率等激光参数对单脉冲刻蚀深度的影响,并与理论计算结果进行了比较,为XeCl激光在该加工领域的实际应用提供了实验数据和理论依据。
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应用激光
1998年01期

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