XeCl准分子激光精细刻蚀金刚石和玻璃的实验研究-应用激光1998年01期-手机知网

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XeCl准分子激光精细刻蚀金刚石和玻璃的实验研究

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研究了XeCl激光精细刻蚀玻璃、金刚石等材料的能流阈值和单脉冲能流密度、激光脉冲重复频率等激光参数对单脉冲刻蚀深度的影响，并与理论计算结果进行了比较，为XeCl激光在该加工领域的实际应用提供了实验数据和理论依据。

机　构:

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领　域:

物理学；无线电电子学；

关键词:

XeCl激光；刻蚀；玻璃；金刚石；

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