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物理学
308nm准分子激光辐照对TiO_2薄膜性质的影响
用308nm准分子激光辐照TiO2薄膜样品,对辐照前后的薄膜样品分别进行了XPS、XRD的对比测试和显微分析,确定了TiO2薄膜样品的性质变化是由于激光辐照使其表面快速升温熔化和快速降温凝固,导致了晶格中部分氧原子的缺位,引起了化学配比偏离。
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应用激光
1998年01期

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