XeCl准分子激光器钝化中的返潮现象
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熊旭明 聂劲松 马树森
本文指出XeCl激光器钝化过程中激光器金属部件的氧化膜与HCl的反应是返潮现象的重要原因。分析了返潮现象对器件的危害及消除方法。
机 构:
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