激光烧蚀Al表面溅射Al正离子的平动能分布测定和机理研究
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方尔梯 黄正宇 张谊华
用柱面镜离子能量分析器测定了准分子激光烧蚀Al靶产生的Al~+和Al~(2+)离子的平动能分布,Al~+离子平动能分布主要由二组离子构成,最可几平动能分别为15eV和50eV,较高平动能组离子的产生有一个激光通量阈值,大约为0.9J/cm~2,对产生两组离子的不同机理进行了研究和讨论。
机 构:
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