一种新型的负型激光光致抗蚀剂-应用激光1993年01期-手机知网

一种新型的负型激光光致抗蚀剂

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用氮分子激光诱导聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)与4,4′-二迭氮二苯基砜(4,4′-DDS)的交联聚合反应,使PMMA由正型转变为负型抗蚀剂。用付立叶变换红外光谱法研究其反应动力学,研究了交联剂4,4′-DDS、敏化剂4-笨氧基二笨甲酮以及防氧剂对一二甲胺苯甲醛对于反应速率、量子产率、转化率以及反应诱导期的影响。

机　构:

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领　域:

金属学及金属工艺；

关键词:

激光蚀剂；光致抗蚀剂；