激光光热光束偏转方法测厚的理论分析-应用激光1990年01期-手机知网

激光光热光束偏转方法测厚的理论分析

中国科学院光电技术研究所, | 李斌成

本文给出了加热光束光强方波调制和正弦波调制时激光光热光束偏转信号的表达式,分析了偏转信号与样品厚度之间的关系以及其它参数的影响,证明了激光光热光束偏转方法测量样品厚度的可行性,并被实验定性地证实。

机　构:

中国科学院光电技术研究所,;

领　域:

无线电电子学；

关键词:

激光光热；方波调制；光斑半径；样品厚度；正弦波调制；光束偏转；