利用光学付里叶变换测量表面粗糙度-应用激光1990年01期-手机知网

利用光学付里叶变换测量表面粗糙度

复旦大学物理系,复旦大学物理系,上海纺织工业专科学校,上海纺织工业专科学校, | 张卫赵焕卿唐毓礼

本文提出了利用光功率谱计算该自相关函数及均方根粗糙度的测量方法,对于高度光洁的表面,模似计算与理论分析的结果充分一致。此外,本文还给出了利用线阵 CCD 光电探测器对▽12,▽11,▽10三种表面光洁度比较样板进行测量的实验结果。

机　构:

领　域:

无线电电子学；

关键词:

粗糙度；相关函数；功率谱；付里叶变换；测量表面；