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实时干涉法作运动平面和其运动方向的平行度的测量
南开大学现代光学研究所,南开大学现代光学研究所,南开大学现代光学研究所,
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王君庆
许欣
方志良
<正> 调节运动平面与其运动方向的准确平行,是科学研究和生产实践中经常遇到的问题。目前,测量夹角(平行度)的光学方法对于运动平面与其运动方向之间的夹角无法测量。本文用激光产生二束平行光分别作为物光和参考光制作全息图,然后用球而入射光与平面参考光照射下的全息图衍射出的平行光在空间形成干涉条纹。当发出球面波的点光源位置变化时,干涉条纹的分布会发生相应的变化。如果在运动平而上密着一个光学平面反射镜使点光源发出的光经反射镜后与全息图的衍射光
机 构:
南开大学现代光学研究所,南开大学现代光学研究所,南开大学现代光学研究所,;
领 域:
无线电电子学
;
关键词:
干涉条纹
;
平行光
;
显微密度计
;
平行度
;
全息图
;
参考光
;
光路图
;
平面反射镜
;
测量精度
;
干涉法
;
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1988年01期
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