利用远场散斑测量表面粗糙度的一种新方法-应用激光1986年05期-手机知网

利用远场散斑测量表面粗糙度的一种新方法

北京工业学院工程光学系,北京工业学院工程光学系, ; | 刘容平刘培森

本文推导了远场散斑中央峰值光强的归一化系综均值与粗糙表而统计参量方差及相关长度的关系式。据此,提出了一种测量表面粗糙度的新方法,并在计算机上进行了模拟实验,得到了与理论分析充分一致的结果。

机　构:

北京工业学院工程光学系,北京工业学院工程光学系,;

领　域:

物理学；

关键词:

测量表面；散斑测量；粗糙度；各态历经随机过程；