用点衍射全息图进行光学检测-应用激光1986年05期-手机知网

用点衍射全息图进行光学检测

<正> 光学检测是光学加工及光学装配过程中一项必不可少的内容。常用的干涉测量技术如双光束干涉和共程干涉仪等都有各自的优缺点,其应用范围受到一定的限制。另一种共程干涉仪——点衍射干涉仪,是目前装置最简单的一种干涉仪,整个干涉仪就是一块镀有高吸收膜的玻璃平板,在膜层上有一个很小的透明孔