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仪器仪表工业
光声显微镜及其对集成电路的检测
256×256象素、16级灰度的光声显微镜已使用到检测集成电路的表面或亚表面微细结构。光学显微镜观察不到的亚表面结构或一些缺陷能用这种新技术进行检测和研究。
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应用激光
1984年01期

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