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光声显微镜及其对集成电路的检测
南京大学物理系声学研究所,南京大学物理系声学研究所,南京大学物理系声学研究所,
|
高敦堂
张淑仪
唐正言
256×256象素、16级灰度的光声显微镜已使用到检测集成电路的表面或亚表面微细结构。光学显微镜观察不到的亚表面结构或一些缺陷能用这种新技术进行检测和研究。
机 构:
南京大学物理系声学研究所,南京大学物理系声学研究所,南京大学物理系声学研究所,;
领 域:
仪器仪表工业
；
关键词:
光声显微镜
；
亚表面
；
多层结构
；
微细结构
；
存贮体
；
扫描成象
；
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1984年01期
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