激光化学技术在微电子学中的应用-应用激光1981年05期-手机知网

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无线电电子学

激光化学技术在微电子学中的应用

武汉大学化学系,武汉大学化学系,武汉大学化学系, ; | 邓延倬王明胜盛蓉生

<正> 近年来,激光化学技术在微电子学领域已成功地应用于微电镀、多晶硅或金属的激光显微沉积、半导体的激光化学掺杂等方面,充分显示了激光化学技术的有利特点。

机　构:

武汉大学化学系,武汉大学化学系,武汉大学化学系,;

领　域:

无线电电子学；

关键词:

激光化学；化学掺杂；掺杂物；光沉积；定域化；微电子学；

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