高精度伺服控制偏转振镜-应用激光1981年01期-手机知网

高精度伺服控制偏转振镜

本文叙述伺服控制动圈式和动铁式振镜的主要性能。它们的重复精度分别是优于±0.2%和±0.3%。阶跃上升时间分别是1.5毫秒和1.2毫秒。位置分辨角小于12弧秒,可为激光光路提供准确而迅速的偏转扫描。已在激光光阀大屏幕显示中得到应用。

机　构:

领　域:

无线电电子学；

关键词:

位置传感器；闭环控制；电容传感器；