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材料科学
纳米材料及器件的测量需求 2002年6月5~6日在英国特丁顿英国国立物理研究所进行的VAMAS-CENSTAR研讨会综述
1 概 要随着器件尺寸不断小型化及器件特征不断复杂化,对器件的尺寸、特征、几何学和性质的测量就成了主要的技术难题。由于不能可靠地进行上述物理量测量,则严重影响了这些器件的商业化。由英国国立物理研究所和美国国家标准技术研究院基于此共同以VAMAS和CENSTAR的名义于2
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现代科学仪器
2004年02期

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