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无线电电子学
集成化N沟MOS核心参数的Taurus Workbench优化
首先介绍了集成电路TCAD虚拟工厂系统TaurusWorkbench,基于CMOS工艺的特点,在TaurusWorkbench环境下进行了深亚微米级N沟器件的核心参数优化,优化结果印证了新的工艺条件对器件特性的改善。
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微电子学与计算机
2004年06期
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