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无线电电子学
硅基铂钛夹层AAO多孔模版制备半导体量子线
制备一种新型硅基铂钛夹层AAO模版,并用这种模版制备量子线阵列。在硅基上依次用电子束蒸镀铂膜、钛膜和铝层,把在草酸溶液中阳极氧化制备AAO模版的方法,移植到制备这种模版中。再用这种模版直流电沉积制备了ZnSe半导体量子线阵列。SPM表征出相当好的结果,模版孔径和量子线大小一致,且分布均匀。这种模版底层的铂膜提供了量子线的一个电极,基底硅为纳米器件集成提供了平台。
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微细加工技术
2007年05期
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