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无线电电子学
Al掺杂的ZnO薄膜的XPS谱和光学特性研究
采用直流反应磁控溅射法在玻璃基底上用Zn(99.99%)掺Al(1.5%)靶制备出高质量的Al掺杂的ZnO(AZO)薄膜。利用X射线光电子能谱仪和紫外-可见光分光光度计分别对制备的AZO薄膜进行成分、元素的价态分析和光学性质的研究。其实验结果表明,Zn元素以氧化态的形式存在,Al元素以氧化态和单质的形式存在,O元素主要以晶格氧和吸附氧的形式存在。AZO薄膜的光学参数受退火温度的影响较大。AZO薄膜在可见光区域内透射率的平均值为85%,并且随着退火温度的升高,AZO薄膜在可见光区域内的透射率稍微增大;薄膜的紫外吸收边向短波方向移动;薄膜的光学带隙从3.83 eV增大到3.88 eV;并且消光系数在紫外区域随着波长的增大而急剧下降。
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微细加工技术
2007年05期
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