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自动化技术
EPM—810Q电子探针仪自动控制系统的升级改造
<正> 电子探针x射线显微分析仪(Electron Probe Microanalyzer)简称电子探针分析仪(EPMA)是近二十年来迅速发展起来的广泛用于物理、化学、地质、冶金、考古、材料科学和微电子等领域的一种表面形貌与微区成分分析仪器。我们于1983年通过世界银行第一个大学发展项目引进了日本岛津公司生产的EPM—810Q型电子探针仪,价值23万美元。由于国际市场的激烈竞争和近几年来自动控制技术发展(尤其
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实验技术与管理
1991年05期
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