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无线电电子学
光刻机曝光面辐照度的测量
本文叙述了用标准探测器方法对光刻机曝光面辐照度的准确测量。标准探测器绝对光谱响应度的确定及修正,给出了现场测量结果,还给出了对光刻辐射计的标定结果。并对测量结果进行了分析
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实用测试技术
1999年06期
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