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物理学
稀释气体Ar对金刚石薄膜沉积质量的影响
本文探讨了在燃烧焰法沉积金刚石薄膜过程中,稀释气体Ar 对沉积质量的影响。发现在成膜过程中适当量的Ar 起到增大内焰体积、降低沉积速率和提高晶型质量的作用。文中分析了其原因,并实现了利用Ar 来控制高质量金刚石薄膜的生长。
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人工晶体学报
1999年04期
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