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冶金工业
CVD高纯钛过程中杂质Mn的热力学行为分析
以卤化剂和海绵钛为原料,采用特殊的工艺设备,利用化学气相沉积(CVD)法制备高纯钛。对高纯钛设备过程中Mn的行为进行了热力学分析;在卤化源区73.15K~973.15K条件下,杂质元素Mn与I形成MnI2;在沉积区温度1400K~1650K条件下,MnI2不发生分解,可以抑制杂质元素Mn的污染;文章结合实验条件对高纯钛中的杂质Mn的污染途径做了分析。
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轻金属
2010年08期
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