聚酰亚胺基纳米氟碳膜的结构和性能研究-青岛大学学报(工程技术版)2003年04期-手机知网

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聚酰亚胺基纳米氟碳膜的结构和性能研究

青岛大学化工学院,青岛大学化工学院山东青岛266071 ,山东青岛266071 ; | 张浴晖齐宏进

利用射频磁控溅射法,以聚四氟乙烯为靶材,在聚酰亚胺(PI)薄膜上沉积纳米氟碳膜。利用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、原子力显微镜(AFM)观察了纳米氟碳膜的表面形貌。通过优化放电条件,在PI薄膜上得到了一层致密均匀的由纳米粒子组成的氟碳膜。利用X射线光电子能谱(XPS)研究了膜的结构及其对放电条件的依赖性。结果表明:这种纳米氟碳膜由—CF3,—CF2—,—CF—和—C—4个组分构成。水接触角的测量数据表明:在PI基底上沉积纳米氟碳膜可以提高其憎水性能。

机　构:

青岛大学化工学院,青岛大学化工学院山东青岛266071 ,山东青岛266071;

领　域:

有机化工；

关键词:

射频磁控溅射；纳米氟碳膜；表面形貌；表面结构；接触角；

格　式:

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