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电力工业
双管式等离子去胶刻蚀机
<正> 江苏省江阴县无线电专用设备厂最近鉴定投产了一种用于半导体器件生产的双管等离子去胶刻蚀机.过去的去胶刻蚀机都是单管形式,工作效率低、产品成品率低.GP08-2/QJ型双管等离子去胶刻蚀机由反应室(即工作室)、气体系统、电气控制
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机械与电子
1985年04期
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