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动态光电显微镜调试中的一些问题
中国计量科学研究院,
|
陆如庆
<正> 双管差动式的动态光电显微镜目前已被广泛地用来作为高精度的定位装置。但怎么才能实现高精度定位,则需对控制线路进行精心的调试后才能实现。现在谈谈与此有关的一些问题。一、控制线路及其作用所谓控制线路就是控制外界干扰(如被测物上的划痕、污点等),保证光电显微镜准确
机 构:
中国计量科学研究院,;
领 域:
仪器仪表工业
；
关键词:
动态光电显微镜
；
高精度定位
；
控制线路
；
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计量技术
1982年04期
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