手机知网 App
24小时专家级知识服务
打 开
金属学及金属工艺
热处理对ZnO:Al薄膜的结构、光学和电学性质的影响
用电子束蒸发技术在石英衬底上制备了铝掺杂氧化锌(ZnO:Al)透明导电薄膜, 并对其退火前后的结构和光电性质进行了研究. X射线衍射实验结果表明所制备样品均具有c轴择优取向的六角多晶结构. 光致发光谱由较强的紫外发光和弱深能级缺陷发光组成. 薄膜具有较高的透射率、电导率和载流子浓度. Hall效应测试结果表明薄膜为简并n型半导体, 室温电阻率为6.7×10-4 ·cm, 载流子浓度在1020 cm-3量级. 研究了其导电机理及载流子的输运机制.
9 304
手机阅读本文
下载APP 手机查看本文
中国科学G辑:物理学、力学、天文学
2004年03期
相似文献
图书推荐
相关工具书

搜 索