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电力工业
MEMS惯性开关的原理及研究进展
MEMS惯性开关是一种无源电子器件,集传感器与执行器为一体,具有尺寸小、制造成本低、可批量生产等多种优点,在玩具、汽车电子、物联网以及军事等领域有着广泛的应用前景。由于惯性开关在未触发状态时待机功耗为零的特点,其在远程监控等电量有限的应用场景下有着明显的优势。首先介绍了MEMS惯性开关的基本物理模型和工作原理,并对影响器件工作效果的重要性能参数进行了分析;然后根据器件的导通方式、接触增强的设计方法、开关的敏感冲击方向以及敏感的阈值大小来对国内外研究的惯性开关进行分类和阐述;此外,还讨论了MEMS惯性开关的微加工工艺以及测试;最后,对MEMS惯性开关器件进行了相应的总结和展望,为之后的研究提供了参考。
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