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金属学及金属工艺
表面粗糙度的光学在线检测
本文提出一种测量表面粗糙度的光学方法.根据Beckman电磁波散射理论和Fourier技术,使用CCD阵列采集光信号,通过软件方法,统计虚拟的楔环光能量,从而得到粗糙度的大小.测得的精度达到0.01μm,并能在线测量.这种测量方法的检测范围在0.01~0.90μm.测量的示值误差小于±10%,重复测量误差小于±5%,一个试件的平均测量时间小于5s.测量系统具有结构简单,体积小,成本较低,不损伤被测件表面的优点.由于测量对试件平台的震动不敏感,以及计算机处理的快速性,这种方法可用于在线检测.
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哈尔滨工程大学学报
2003年05期
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