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自动化技术
神经网络在薄膜厚度控制系统中的应用
讨论了薄膜厚度控制的非线性和耦合性,应用神经网络串行解耦算法,解决多变量非线性耦合问题,同时还采用了改进的学习算法———动量法,并与传统算法做了仿真比较。仿真结果表明该算法能较好地解决上述难点,从而更好的控制薄膜厚度的均匀性。
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华东船舶工业学院学报(自然科学版)
2003年04期
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