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金属学及金属工艺
光学针描法表面粗糙度测量及其关键技术处理
介绍了一种基于光纤传感技术的光学针描法粗糙度测量技术.它根据微观表面轮廓对光信号的调制原理,采用计算机技术进行测量控制、数据采集与处理,从而实现对表面粗糙度各常用参数的测量,并给出被测表面的轮廓图形.文中对有关测量原理及其关键技术进行了介绍,给出了实验结果及误差分析.
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河北工业大学学报
2001年02期
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