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无线电电子学
干法显影的电子束抗蚀剂——聚环己烯砜叠氮系
本文研究了用四氟化碳-氧等离子体进行干法显影的电子束刻蚀技术。负型电子束抗蚀剂是由聚环己烯砜和2,6-双-(4′-叠氮苯亚甲基)-4-甲基环己酮组成,其灵敏度为1.5×10~(-5)C/cm~2,分辨率小于1μm,反差约1.43。并讨论了干法显影的影响因素和机理。
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感光科学与光化学
1986年02期
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