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武器工业与军事技术
ESS试验中ASIC硅片脱落分析
在导弹生产试验中,某型专用集成电路的硅片从管壳座上脱落。对失效样品脱落的形貌和能谱图进行仔细分析确定硅片脱离界面,分析工艺过程找到失效原因,改进硅片表面处理工艺。
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电子质量
2012年04期
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