ZnO紫外光电阴极制备及激活工艺技术-电子科技2011年07期-手机知网

ZnO紫外光电阴极制备及激活工艺技术

厦门大学信息科学与技术学院 | 徐华腾

采用磁控溅射方法,探索ZnO薄膜制备的最佳工艺。研究了氧氩比、基片温度,对晶粒质量的影响,以及表面电阻与溅射时间之间的关系,使薄膜具有高电阻率,并研究了激活前后光暗电流的关系,满足薄膜在紫外探测器领域的应用。

机　构:

厦门大学信息科学与技术学院;

领　域:

无线电电子学；

关键词:

ZnO光电阴极； ZAO薄膜；磁控溅射法；激活工艺；

格　式:

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