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自动化技术
微机电系统的研究与展望
微机电系统(MEMS)是利用集成电路制造技术和微架构技术把微结构、微传感器、微执行器、控制处理电路甚至接口、通信和电源等制造在一块或多块芯片上的微型集成系统。MEMS技术是多种学科交叉融合具有战略意义的前沿技术。文中介绍了MEMS的范畴、分类、特点,综述了MEMS的发展历程和各国MEMS技术研发动态及产业现状,分析了MEMS技术目前存在的主要问题及关键技术瓶颈,探讨了MEMS技术的发展趋势及应用热点,对开展MEMS技术研究提供了有益的启示。
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电子机械工程
2011年03期
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