手机知网 App
24小时专家级知识服务
打 开
自动化技术
正从实验室走出的MEMS
微机电系统(MEMS : MicroElectro-Mechanical System)是一种集成微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通信接口和电源等部件,实现感应和控制物理环境的芯片级设备。MEMS在经过25年的发展后,目前正在走出实验室,逐渐成为一个新兴的工业领域。MEMS的应用范围正在不断扩大,从
领 域:
关键词:
0 34
手机阅读本文
下载APP 手机查看本文
今日电子
2003年06期
相似文献
图书推荐
相关工具书

搜 索