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自动化技术
CGJY-7702型低差压式硅集成压力传感器的研制
本文是在CGJY-7702型低差压硅集成压力传感器研制的基础上,结合我国的设备条件和工艺特点提出设计方案,对高稳定低差压传感器的实现,在主要工艺参数的选择上作了详细分析,并对非线性产生原因进行了讨论。
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大连工学院学报
1980年04期
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