热处理温度对NdFeB稀土永磁薄膜磁性能的影响-磁性材料及器件2004年04期-手机知网

热处理温度对NdFeB稀土永磁薄膜磁性能的影响

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采用直流磁控溅射法制备NdFeB稀土永磁薄膜,并对其进行了退火热处理,主要考察了热处理温度对薄膜磁性能的影响。结果表明,热处理后的薄膜磁性能显著提高,随热处理温度的升高,薄膜的磁性能逐渐升高,但当温度上升到700℃时,薄膜的磁性能迅速下降。在热处理温度为650℃时,薄膜的最佳磁性能为,矫顽力Hc=650kA/m,剩余磁感应强度Br=0.72T,最大磁能积(BH)max=74kJ/m3。

机　构:

西华大学材料系,电子科技大学微电子与固体电子学院,电子科技大学微电子与固体电子学院四川成都610039电子科技大学微电子与固体电子学院,四川成都610054 ,四川成都610054 ,四川成都610054;

领　域:

金属学及金属工艺；

关键词:

直流磁控溅射； NdFeB永磁薄膜；退火；磁性能；

格　式:

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