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有机化工
低毒体系凝胶注模ITO靶材坯体的表面起皮现象与抑制研究
针对凝胶注模成型ITO靶材坯体时出现的表面氧阻聚问题,研究了水溶性高分子PEG、PVP和PAM对ITO浆料、坯体性能及氧阻聚引起的起皮厚度的影响。结果表明:PEG的加入对ITO坯体起皮厚度基本没有影响,加入PVP和PAM均可在不同程度上改善坯体起皮状况,尤其当PAM加入量超过1.5%时,可完全消除氧阻聚引起的坯体表面起皮。
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材料开发与应用
2020年05期
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