手机知网 App
24小时专家级知识服务
打 开
化学
ZrO_2薄膜的力学性能和摩擦学性能研究
在单晶硅表面成功地获得了自组装单层薄膜 (MPTS SAM) ,并将薄膜表面的巯基 ( SH)完全氧化成磺酸基 ( SO3H) ,从而获得了磺酸化的MPTS SAM。采用静电自组装技术成功使ZrO2 纳米微粒组装到磺酸化的MPTS SAM表面获得淀积ZrO2 薄膜。将ZrO2 薄膜分别在 5 0 0°C和 80 0°C进行热处理后 ,ZrO2 薄膜的厚度逐渐减小 ,这可能是随着温度的升高薄膜的表面密度逐渐增大所致。对ZrO2 薄膜的力学和抗划伤性能分析发现 :随着温度的升高 ,ZrO2 薄膜的硬度和弹性模量依次增加 ,同时薄膜的抗划伤性能也逐渐提高。摩擦磨损实验表明 :利用该方法制备的ZrO2 薄膜经 80 0°C烧结处理后适于在低负荷、低滑动速度下作为减摩、抗磨保护性涂层。
材料科学与工程学报
2004年05期

搜 索