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耐高温HTCC无源振动传感器设计与仿真研究
提出了一种高温共烧陶瓷(HTCC)无源振动传感器,传感器可在超高温环境下工作,通过无线非接触测量原理实现振动参数的在线测量。通过MATLAB软件对振动传感器的结构参数进行仿真,利用ANSYS Workbench仿真软件对敏感结构进行建模、静态分析、模态分析和热力学性能分析。结果表明:传感器敏感结构在0~30 g_n内能够正常工作;模态仿真一阶频率为1 991.4 Hz,与谐响应仿真基本一致;在25~1 000℃内,传感器灵敏度随温度升高而增大,1 000℃时的灵敏度为0.114 kHz/g_n,传感器为超高温环境下振动参数的稳定测量提供了新思路。
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传感器与微系统
2021年09期
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