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自动化技术
硅-蓝宝石压力传感器芯片调整电阻的设计
介绍了硅-蓝宝石压力传感器芯片外延硅层上调整电阻的设计和应用,通过设计调整电阻来实现芯片的电桥平衡,达到了调整其输出特性、改善传感器性能、提高芯片适用性的目的。
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传感器技术
2004年09期
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